光刻膠檢測

光刻膠也稱為光致抗蝕劑，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶顯示、印刷電路板等領(lǐng)域的細(xì)微圖形加工作業(yè)。中科檢測提供光刻膠檢測服務(wù)，檢測報告具有CMA資質(zhì)。

我們的服務(wù) 工業(yè)材料 光刻膠檢測

光刻膠檢測介紹

光刻膠也稱為光致抗蝕劑，是一種特殊的感光材料，能夠在光的照射下發(fā)生化學(xué)變化，進而影響其溶解度。光刻膠主要由感光樹脂、增感劑和溶劑組成，是微電子技術(shù)中精細(xì)圖形處理的關(guān)鍵材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶顯示、印刷電路板等領(lǐng)域的細(xì)微圖形加工作業(yè)。在光刻工藝中，光刻膠作為抗腐蝕涂層材料，通過涂覆、曝光和顯影等步驟，將掩膜板上的圖形精確地轉(zhuǎn)移到基片上。光刻膠分為正性和負(fù)性兩種類型，正性光刻膠在曝光后被溶解，而未曝光部分保留；負(fù)性光刻膠則相反，曝光部分被保留，未曝光部分被溶解。中科檢測是專業(yè)的光刻膠檢測機構(gòu)，可開展光刻膠檢測服務(wù)。

光刻膠檢測范圍

光刻膠可以分為光聚合型、光分解型、光交聯(lián)型和化學(xué)放大型。
1、光聚合型光刻膠采用烯類單體，在光作用下生成自由基，引發(fā)單體聚合反應(yīng)生成聚合物。
2、光分解型光刻膠，采用含有重氮醌類化合物（DQN）材料作為感光劑，其經(jīng)過光照后，發(fā)生光分解反應(yīng)。
3、光交聯(lián)型光刻膠采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料，在光的作用下，形成不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，起到抗蝕作用。
4、化學(xué)放大型光刻膠采用難以溶解的聚乙烯樹脂，使用光致酸劑（PAG）作為光引發(fā)劑。

光刻膠檢測項目

理化性能：固含量、粘度、留膜率、薄膜厚度、粘附力等
可靠性能：耐化學(xué)性能、耐溶劑沖擊性、溶解性、耐化學(xué)性、耐腐蝕性能等
光學(xué)性能：色度、輝度、對比度測試、顯影速度、曝光度等

光刻膠檢測標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 43793.1-2024 平板顯示用彩色光刻膠測試方法第1部分：理化性能
GB/T 43793.2-2024 平板顯示用彩色光刻膠測試方法第2部分：光學(xué)性能
GB/T 43793.3-2024 平板顯示用彩色光刻膠測試方法第3部分：可靠性
GB/T 31370.1-2015 平板顯示器(FPD)彩色濾光片測試方法第1部分:顏色和透光率
GB/T 31370.4-2015 平板顯示器(FPD)彩色濾光片測試方法第4部分:耐化學(xué)性
IPC MI-660 5.3-1984 干電影光刻膠
GOST R 52250-2004 電子工程材料.光刻工藝抗蝕劑.通用規(guī)范